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特种气体系统工程施工的一般性要求

特种气体系统使用的不锈钢管应采用全自动轨道焊机焊接，高纯氩气保护。安装和试验检测用计量器具应检定合格并在有效期内使用。特种气体系统工程施工前必须编制专项施工方案，深圳特种气体，并经过业主审批后实施。主要设备材料进场应提供必要资料：产品合格证、质量保证书、性能测试报告；产品安装、使用、维护和试验要求等技术文件；产品规格、型号、数量、设备附件及专用工具。

特种气体充装要点

 一、永1久性气体的充装

 1、专业培训、持证上岗、遵守规程。

 2、佩戴防护用品、检查设备。

 3、对钢瓶复查、检查气密性。

 4、开启总阀，准备充气。

 5、充装时的检查。

 6、发现问题的处理。

 7、压力大于12.5MPa时，高纯度特种气体多少钱，禁止进入。

 8、确定高充装压力。

 9、切换总阀，特种气体厂，分类堆放好。

基准温度：是由气体产品标准规定的基准充装标准温 度。我国规定是20℃

特种气体系统的设计与施工

特气供气系统

大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纤（气体种类包括SiCl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。它们的投资规模巨大，高纯度特种气体，采用1先进的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。

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